真(zhen)空抽(chou)氣(qi)機組(zu)概況及原理

ZJP型帶旁(pang)通(tong)閥(fa)羅茨真空泵(beng)，是(shi)ZJ型(xing)羅(luo)茨(ci)真空泵(beng)的(de)派生(sheng)產品(pin)，抽(chou)氣(qi)原理與(yu)ZJ型泵(beng)壹樣，它(ta)也(ye)是(shi)利(li)用(yong)壹對(dui)８字(zi)形(xing)轉(zhuan)子在(zai)泵殼(ke)中(zhong)保持(chi)壹定的(de)間隙(xi)，作等速反(fan)向旋(xuan)轉(zhuan)而(er)產生(sheng)吸氣(qi)和排氣(qi)作用(yong)的(de)。所(suo)不同(tong)的(de)是(shi)ZJP型(xing)帶旁(pang)通(tong)閥(fa)羅茨真空泵(beng)的(de)進(jin)、排氣(qi)口相(xiang)連(lian)通(tong)，在(zai)二者的(de)通(tong)道(dao)上(shang)垂直地安裝著壹個重力閥(fa)。其(qi)作(zuo)用(yong)是(shi)當(dang)進(jin)氣(qi)口和(he)排氣(qi)口的(de)壓力差(cha)與(yu)閥的(de)有效(xiao)作(zuo)用(yong)面(mian)積(ji)的(de)乘積(ji)超過(guo)閥頭(tou)的(de)自(zi)重(zhong)時(shi)，閥頭就(jiu)自(zi)動(dong)頂(ding)開(kai)。這個數(shu)值(zhi)是(shi)泵(beng)可靠運轉(zhuan)的(de)高(gao)壓力差(cha)值(zhi)，因此(ci)，這(zhe)種(zhong)閥(fa)實(shi)際(ji)上(shang)就(jiu)是(shi)壹種(zhong)過(guo)載自(zi)動(dong)保護閥，也(ye)是(shi)ZJP 型(xing)帶旁(pang)通(tong)閥(fa)羅茨真空泵(beng)的(de)大優(you)點。

真空抽(chou)氣(qi)機組(zu)的(de)特點

主(zhu)要特(te)點：

• 無油潔(jie)凈，滿足各(ge)種(zhong)無油及腐(fu)蝕性特(te)殊(shu)工況要求(qiu)
• 過(guo)載自(zi)動(dong)保護，適合(he)高(gao)壓差(cha)工況，運行安全、可靠
• 高(gao)精度、高(gao)轉(zhuan)速、高(gao)效(xiao)率，降低(di)使(shi)用(yong)成本(ben)，提高(gao)經(jing)濟效(xiao)益(yi)
• 無泄(xie)漏、低噪(zao)聲(sheng)、低(di)震動(dong)，運行(xing)、維護成本(ben)更(geng)低(di)
• 不(bu)銹鋼機械密封(feng)，密封(feng)性能(neng)穩定、使用壽命長。

真空抽(chou)氣(qi)機組(zu)的(de)特點

規格(ge)參數(shu)：

因而(er)用戶可根據(ju)不同(tong)的(de)使用(yong)要求(qiu)來(lai)正(zheng)確(que)選(xuan)擇(ze)機(ji)組(zu)的(de)級(ji)數(shu)。用(yong)戶如(ru)有特(te)殊(shu)要求(qiu)也(ye)可與(yu)本(ben)公(gong)司(si)直接，由(you)本(ben)公(gong)司(si)相(xiang)關(guan)技(ji)術人(ren)員來選型。

真(zhen)空系(xi)統(tong)由(you)機(ji)械泵、擴(kuo)散泵(beng)、油增(zeng)壓(ya)泵(beng)、增(zeng)擴(kuo)泵、羅(luo)茨(ci)泵、堝輪(lun)分子泵(beng)等及與(yu)它(ta)們相(xiang)匹配的(de)各種(zhong)氣(qi)動(dong)、手(shou)動(dong)、電動(dong)閥門(men)、管道(dao)等組成(cheng)。根據(ju)工藝要求(qiu)選(xuan)擇(ze)鍍制方(fang)式(shi)及形(xing)式(shi)，如(ru)電阻(zu)蒸(zheng)發(fa)(鎢(wu)絲、鉬舟、石墨(mo)舟)磁控源(yuan)(同(tong)軸圓柱型(xing)磁(ci)控源、園(yuan)柱(zhu)型(xing)平面(mian)磁控(kong)源、矩型(xing)平面(mian)磁控(kong)源等)以靶(ba)材材(cai)質(zhi)及尺寸多(duo)弧源(yuan)(Ф60，Ф80直徑靶(ba)材，氣(qi)動(dong)、電動(dong)的(de)引弧等)，真空測(ce)量(liang)可選擇(ze)數(shu)字(zi)式(shi)智(zhi)能(neng)真空計(ji)及其(qi)的(de)測(ce)量(liang)規(gui)管，及其(qi)它(ta)測(ce)量(liang)儀(yi)器，如(ru)自(zi)動(dong)壓強控制(zhi)儀(yi)等。