壹(yi)、核(he)心(xin)結(jie)構組成
1、氣(qi)冷(leng)羅茨(ci)真(zhen)空泵(beng)模塊(kuai)
采用壹(yi)對(dui)精(jing)密(mi)嚙合的(de)“8”字(zi)形(xing)轉子，通(tong)過(guo)齒(chi)輪反(fan)向(xiang)同(tong)步旋(xuan)轉，轉子間及(ji)與泵(beng)殼間(jian)隙(xi)嚴(yan)格(ge)控制在(zai)0.1~0.8mm；
泵(beng)體(ti)集成冷(leng)卻(que)器組件(jian)，將(jiang)冷卻(que)氣(qi)體(ti)引入(ru)吸氣(qi)腔(qiang)，直接降低氣體(ti)壓縮(suo)產生(sheng)的(de)熱(re)量；
無(wu)油潤(run)滑設計，無(wu)需(xu)密封(feng)油或潤(run)滑劑，避免介質(zhi)汙(wu)染(ran)。
2、液環(huan)真(zhen)空泵(beng)模塊(kuai)
葉輪偏(pian)心(xin)安(an)裝於(yu)泵(beng)腔(qiang)，旋(xuan)轉時(shi)形(xing)成閉(bi)合液環(huan)(常(chang)用水或有(you)機(ji)溶(rong)劑)，分(fen)割出周期性變(bian)化的(de)“氣(qi)腔(qiang)”；
液體(ti)循(xun)環(huan)系(xi)統(tong)維持液環(huan)穩定(ding)性，兼具密(mi)封(feng)、冷卻(que)及(ji)捕集可(ke)凝性氣(qi)體(ti)的(de)功能。
3、系統(tong)集成設(she)計
氣(qi)冷(leng)羅茨(ci)泵(beng)與液環(huan)泵(beng)串(chuan)聯(lian)，液環(huan)泵(beng)作(zuo)為前級(ji)泵(beng)優先(xian)建立基(ji)礎(chu)真(zhen)空；
控制系統(tong)根(gen)據真(zhen)空度(du)閾(yu)值自動(dong)切換兩(liang)級(ji)泵(beng)運行(xing)狀(zhuang)態。
二(er)、工(gong)作(zuo)流(liu)程
1、啟動(dong)階(jie)段(duan)
液環(huan)泵(beng)率先(xian)運(yun)行，液膜(mo)膨脹(zhang)形(xing)成負(fu)壓(ya)，快速將(jiang)系統(tong)壓力(li)降至10^3 Pa量級(ji)；期間(jian)液環(huan)吸收(shou)氣(qi)體(ti)壓縮(suo)熱(re)量，防止(zhi)過(guo)熱(re)。
2、主抽真空階(jie)段(duan)
當(dang)真空度(du)達到(dao)預(yu)設值(約10^3~10^2 Pa)，氣(qi)冷(leng)羅(luo)茨(ci)泵(beng)啟動(dong)，轉子以3450~4100轉/分(fen)高速旋(xuan)轉，擴大抽速並(bing)提(ti)升(sheng)極限(xian)真空至10^-2 Pa量級(ji)；
冷卻(que)氣(qi)體(ti)持續降低羅茨(ci)泵(beng)腔(qiang)內溫(wen)度，相(xiang)比(bi)傳統(tong)設計減(jian)少約30%熱(re)負荷(he)。
3、協(xie)同(tong)穩壓階(jie)段(duan)
液環(huan)泵(beng)轉為輔(fu)助泵(beng)，處(chu)理羅(luo)茨(ci)泵(beng)排出的(de)氣(qi)體(ti)並(bing)維持系統(tong)壓力(li)平衡(heng)；
液環(huan)持續捕(bu)集(ji)粉(fen)塵(chen)或(huo)可(ke)凝蒸汽，保(bao)護(hu)羅茨(ci)泵(beng)免受汙染(ran)。
三、技術(shu)優勢
1、高效(xiao)溫(wen)控：氣冷(leng)設(she)計簡(jian)化散(san)熱(re)結(jie)構，避免傳統(tong)水冷(leng)系(xi)統(tong)的(de)復雜(za)管路(lu)，液環(huan)則(ze)通(tong)過(guo)循(xun)環(huan)液體(ti)進壹(yi)步吸收(shou)殘(can)余熱(re)量；
2、耐(nai)汙(wu)染(ran)性：液環(huan)泵(beng)前置過(guo)濾雜(za)質，氣(qi)冷(leng)羅(luo)茨(ci)泵(beng)無油設計減(jian)少介質汙染(ran)風(feng)險；
3、寬(kuan)域適(shi)配：單(dan)級(ji)羅茨(ci)泵(beng)極限(xian)真空達6.5×10^-2 Pa，雙級(ji)泵(beng)可(ke)達1×10^-3 Pa，適(shi)用(yong)於化工(gong)、制藥(yao)等高純真空場(chang)景。
