幹式(shi)真空(kong)泵的(de)用途(tu)廣麽？
　　無(wu)油幹(gan)式(shi)機械(xie)真空(kong)泵（又簡(jian)稱幹式(shi)機械(xie)泵）是指泵能(neng)從(cong)大氣(qi)壓(ya)力下開始(shi)抽氣(qi)，又(you)能(neng)將被抽氣(qi)體(ti)直接排(pai)到大氣(qi)中去，泵腔內無(wu)油或其(qi)他工(gong)作(zuo)介(jie)質，而且(qie)泵的(de)極限(xian)壓(ya)力與油封式(shi)真空(kong)泵同等(deng)量級(ji)或者(zhe)接近的(de)機械(xie)真空(kong)泵。
　　目前(qian)，真空(kong)行業使(shi)用(yong)的(de)大多數(shu)機(ji)械(xie)真空(kong)泵都是(shi)用油、水或其(qi)它聚(ju)合(he)物(wu)等(deng)流(liu)體(ti)充當泵的(de)工作(zuo)介(jie)質，在泵內起(qi)冷卻、密(mi)封、潤滑(hua)等(deng)多種作(zuo)用。隨(sui)著科(ke)學(xue)技(ji)術的(de)發展以及真空(kong)應(ying)用領(ling)域(yu)的(de)擴大，原(yuan)有的(de)機械(xie)真空(kong)泵及其(qi)組(zu)成(cheng)的(de)抽氣(qi)系(xi)統(tong)出(chu)現了(le)兩個(ge)急需解(jie)決問(wen)題(ti)：壹(yi)是泵的(de)工作(zuo)介(jie)質返(fan)流汙染被(bei)抽容器(qi)，而這種返(fan)流在許(xu)多情(qing)況(kuang)下(xia)影響(xiang)產品(pin)的(de)質量、數(shu)量，增加(jia)設(she)備(bei)的(de)維(wei)護成本。其(qi)次，由(you)於(yu)某些工藝過程(cheng)中的(de)反應(ying)物(wu)質(zhi)使(shi)真空(kong)泵內的(de)介(jie)質嚴重(zhong)變(bian)質，使(shi)泵不能(neng)正(zheng)常工(gong)作(zuo)。  
    幹式(shi)真空(kong)泵主要(yao)有下列幾種形(xing)式(shi)：幹式(shi)螺桿真空(kong)泵、無(wu)油往(wang)復真空(kong)泵、爪式(shi)真空(kong)泵、無(wu)油渦(wo)旋真空(kong)泵
幹式(shi)機械(xie)真空(kong)泵的(de)應用(yong)是(shi)廣泛的(de)，主要(yao)有(you)以下幾(ji)個方(fang)面(mian)： 　　
　　1）除(chu)半導(dao)體(ti)工藝(yi)外(wai)的(de)某些產生微(wei)粒(li)的(de)工藝(yi)，不希(xi)望微(wei)粒(li)混入泵油中，而希(xi)望微(wei)粒(li)排(pai)出泵外，則(ze)用(yong)壹定(ding)型(xing)式(shi)的(de)幹式(shi)機械(xie)真空(kong)泵可以滿足(zu)要求；
　  2）低壓化學(xue)氣(qi)相(xiang)沈(chen)積(ji)中的(de)多晶矽(gui)制(zhi)備工(gong)藝(yi)中；
　　3）用做壹般(ban)無(wu)油清潔(jie)真空(kong)系(xi)統(tong)的(de)前級(ji)泵，以防(fang)止油汙染。
    4）半導(dao)體(ti)刻(ke)蝕(shi)工(gong)藝。在這些生產工藝中往(wang)往(wang)用到或生成腐蝕(shi)性(xing)氣(qi)體(ti)和研(yan)磨微(wei)粒(li)；
　  5）在化(hua)學(xue)工(gong)業、醫藥(yao)工業(ye)、食(shi)品(pin)工(gong)業中的(de)蒸餾(liu)、幹(gan)燥(zao)、脫泡(pao)、包裝(zhuang)等(deng)，要(yao)防(fang)止有機(ji)溶劑造成(cheng)汙染，適(shi)合(he)用(yong)幹(gan)式(shi)真空(kong)泵；

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