隨(sui)著科技的(de)不斷(duan)進(jin)步(bu),真空技術(shu)已(yi)經廣泛(fan)應用於工(gong)業、醫療(liao)、航(hang)天(tian)等領域。作為真空設備的(de)關(guan)鍵部(bu)件之(zhi)壹(yi),氣(qi)冷羅(luo)茨(ci)泵真空機組以其高(gao)效(xiao)、環保、可(ke)靠(kao)等(deng)優點(dian)受(shou)到越來(lai)越(yue)多(duo)人(ren)的(de)青睞(lai)。
壹(yi)、原理
氣(qi)冷羅(luo)茨(ci)泵真空機組主要由(you)羅(luo)茨(ci)泵、氣動引(yin)爆(bao)閥(fa)、預級泵(beng)和(he)水(shui)冷器(qi)等組成(cheng)。其(qi)中(zhong),羅(luo)茨(ci)泵是核(he)心(xin)部件,由(you)兩(liang)個旋(xuan)轉相鄰的(de)葉(ye)輪組(zu)成(cheng),葉(ye)輪直(zhi)徑(jing)相等(deng),且有定(ding)量(liang)的(de)間隙(xi)。當(dang)羅(luo)茨(ci)泵旋(xuan)轉時,吸(xi)入(ru)口(kou)處(chu)的(de)氣體被帶到排氣(qi)口處(chu),並在排(pai)氣(qi)口處(chu)排出。如(ru)此(ci)反(fan)復(fu)循(xun)環,最(zui)終達(da)到加速(su)抽氣的(de)目的(de)。
二、優(you)勢(shi)
1.高效(xiao)節(jie)能(neng):采(cai)用氣冷方(fang)式(shi),無(wu)需(xu)額(e)外(wai)耗(hao)能(neng)的(de)冷卻水,可(ke)以降低(di)能(neng)源消耗(hao)。
2.環(huan)保(bao)可(ke)靠(kao):無(wu)需(xu)使用油潤滑,減少(shao)了汙(wu)染排放和(he)維護(hu)成(cheng)本(ben),並且不(bu)會(hui)產生(sheng)大(da)量(liang)噪(zao)音和(he)振動,有利於環(huan)境(jing)保(bao)護(hu)和(he)人(ren)員健(jian)康。
3.安全性(xing)高(gao):氣(qi)動引(yin)爆(bao)閥(fa)的(de)作用是在羅(luo)茨(ci)泵工(gong)作時隨時(shi)監(jian)控(kong)氣體壓(ya)力,超過(guo)預設值時(shi)自(zi)動打(da)開(kai),避免(mian)因爆(bao)炸(zha)造(zao)成(cheng)傷害(hai)和(he)財(cai)產(chan)損(sun)失。
三(san)、應(ying)用
氣冷羅(luo)茨(ci)泵真空機組廣泛(fan)應用於半(ban)導(dao)體制造(zao)、真(zhen)空爐、太陽能電(dian)池(chi)、航(hang)空航(hang)天(tian)、醫院等領(ling)域。其(qi)中(zhong),在半(ban)導(dao)體制造(zao)行業中(zhong),被用於制造(zao)芯(xin)片的(de)抽氣(qi),具有高(gao)度(du)的(de)穩定(ding)性(xing)、可(ke)靠(kao)性(xing)和(he)高(gao)效(xiao)性(xing),能(neng)夠(gou)提(ti)高(gao)生產效率(lv)和(he)產(chan)品質量(liang)。
總(zong)之(zhi),氣冷羅(luo)茨(ci)泵真空機組已(yi)經成(cheng)為(wei)現(xian)代化生產中(zhong)的(de)壹(yi)部(bu)分。其先進(jin)的(de)技術(shu)和(he)優(you)良(liang)的(de)性(xing)能(neng),為(wei)各種(zhong)企(qi)業提供了強有力的(de)支持(chi),為推動我國(guo)工(gong)業制造(zao)領(ling)域的(de)發(fa)展做出了重(zhong)要(yao)貢(gong)獻(xian)。