真空(kong)泵系統是(shi)壹種無(wu)內壓(ya)縮(suo)的真空(kong)泵,通常(chang)壓(ya)縮(suo)比很(hen)低,故高、中真空(kong)泵需要前(qian)級泵。靠泵腔(qiang)內壹對(dui)葉形(xing)轉(zhuan)子(zi)同(tong)步、反(fan)向旋轉的推(tui)壓(ya)作用(yong)來(lai)移動氣體而(er)實現(xian)抽氣的真空(kong)泵。是指具有壹對同(tong)步高速旋轉的(de)鞋底形(xing)轉(zhuan)子(zi)的(de)機械(xie),此(ci)泵不可以單(dan)獨抽氣,前(qian)級需(xu)配(pei)油封(feng)、水環等(deng)可直排大(da)氣。
啟(qi)動系統,開(kai)始工(gong)作(zuo),直到真空(kong)罐內真空(kong)度達(da)到設定的(de)上限(xian)值(zhi),自動停(ting)止運(yun)行(xing),中央真空(kong)系統內的真空(kong)由(you)管路(lu)上的(de)真空(kong)止回(hui)閥自動截(jie)止而(er)得(de)到維(wei)持。如因(yin)工(gong)作(zuo)需求(qiu)真空(kong)罐內真空(kong)度下(xia)降並(bing)低於(yu)設定的(de)下限(xian)值(zhi)時,備用真空(kong)泵組自動啟(qi)動。由(you)此(ci)循環往復,真空(kong)系統的(de)真空(kong)度能(neng)夠維(wei)持穩(wen)定(ding)的(de)真空(kong)源(yuan),滿足生(sheng)產的(de)要求。
真空(kong)系統自啟(qi)動後,全(quan)部(bu)運(yun)行(xing)過程可以實現(xian)全(quan)自動控(kong)制。在工(gong)作(zuo)中,真空(kong)系統內各處(chu)的真空(kong)度(即(ji)真空(kong)稀(xi)薄程度(du)平均分布)始終在其允許範(fan)圍內上下(xia)波動,其波動範(fan)圍可根據(ju)用戶(hu)要求進(jin)行(xing)調(tiao)整。
羅(luo)茨(ci)泵的極(ji)限(xian)真空(kong)除取決於(yu)泵本身(shen)結(jie)構(gou)和制(zhi)造精度(du)外(wai),還取決於(yu)前(qian)級泵的極(ji)限(xian)真空(kong)。為了提高泵的極(ji)限(xian)真空(kong)度,可將(jiang)羅(luo)茨(ci)泵串(chuan)聯使(shi)用。羅(luo)茨(ci)泵的工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)與(yu)羅(luo)茨(ci)鼓(gu)風(feng)機相似(si)。由(you)於轉(zhuan)子的不斷旋轉(zhuan),被(bei)抽氣體從(cong)進氣口(kou)吸入(ru)到轉(zhuan)子(zi)與(yu)泵殼之(zhi)間的空(kong)間v0內,再經排氣口(kou)排出(chu)。
真空(kong)泵系統的(de)基(ji)礎規定(ding)是都有(you)哪些?
1.在被抽器件或工(gong)作(zuo)中房間內得(de)到需(xu)要的極(ji)限(xian)真空(kong)泵和工(gong)作(zuo)中真空(kong)度。
極(ji)限(xian)真空(kong)度就是指器件在無漏放氣時所做到的(de)真空(kong)度,工(gong)作(zuo)中真空(kong)度就是指在器件開展(zhan)真空(kong)泵解決(jue)時能夠保(bao)持的(de)真空(kong)度。
2.為得(de)到某(mou)壹工(gong)作(zuo)中真空(kong)度需(xu)要的時間
這(zhe)時間決策(ce)於(yu)真空(kong)系統抽速(su)的(de)尺(chi)寸。提升抽速(su)可減少這(zhe)壹(yi)時間。大(da)的(de)個(ge)人工(gong)作(zuo)室顯而(er)易(yi)見(jian)必須大(da)的(de)抽速(su)。有(you)時候個(ge)人工(gong)作(zuo)室盡(jin)管並(bing)不大(da),但因(yin)為漏放氣比較嚴重(zhong),則真空(kong)系統也(ye)必須大(da)的(de)抽速(su),不(bu)然很(hen)多(duo)的漏放氣將(jiang)大(da)幅(fu)度降低真空(kong)度,使(shi)系統軟件沒法工(gong)作(zuo)中。
3.在被抽器件或工(gong)作(zuo)中房間內有適合(he)的(de)殘(can)氣成份
實(shi)踐(jian)經驗,單(dan)純性提(ti)升(sheng)和(he)確保(bao)極限(xian)真空(kong)度及(ji)工(gong)作(zuo)中真空(kong)度是(shi)不足(zu)的,還解決(jue)殘(can)留汽體成(cheng)份有(you)壹(yi)定(ding)的規定(ding)。
4.真空(kong)系統還務(wu)必構(gou)造簡(jian)易(yi)、特(te)性靠譜、實(shi)際操(cao)作維(wei)護保(bao)養便(bian)捷(jie)、價格(ge)低等(deng)
要考(kao)慮(lv)這(zhe)種規(gui)定(ding),務(wu)必從泵的挑(tiao)選、管路(lu)規(gui)格(ge)的(de)明(ming)確及(ji)布局(ju)、機械(xie)加工(gong)工(gong)藝等(deng)各(ge)個(ge)方面(mian)綜(zong)合(he)性考(kao)慮(lv)到。所(suo)述(shu)這(zhe)種基(ji)礎規定(ding)常(chang)常(chang)是(shi)互相聯絡(luo)的(de)。
5.自動化(hua)技(ji)術規(gui)定(ding)
伴(ban)隨(sui)著電子信息技(ji)術的(de)發(fa)展(zhan)趨(qu)勢(shi),客戶(hu)對真空(kong)系統的(de)自動化(hua)技(ji)術規(gui)定(ding)也(ye)持續(xu)提(ti)高(gao)。針對真空(kong)系統,自動控(kong)制系統主(zhu)要是對(dui)機械(xie)泵總流量和真空(kong)度的(de)調(tiao)整。真空(kong)度經常(chang)根(gen)據(ju)調(tiao)整機械(xie)泵總流量、安裝溢(yi)流閥、減壓(ya)閥來操(cao)縱(zong)。